国产离子注入机通过产业化“大考”

2023-7-19 16:09| 发布者: cncelab| 查看: 1065| 评论: 0

摘要: 在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素，按预定方式改变材料的电性能，这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中，离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造装备。

【消费电子实验室-2023/7/19】近日，随着货车的平稳启动，中国电科48所第100台国产离子注入机发往用户，标志着国产离子注入机成功通过产业化考验。

离子注入机是芯片制造中至关重要的核心装备。在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素，按预定方式改变材料的电性能，这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中，离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造装备。

作为国内最早从事离子注入装备研制及产业化的企业，48所持续深耕离子束技术，不断强化关键核心技术攻关，已具备从产品设计到量产应用的完整研制体系，量产的百台装备均应用于国内各大集成电路先进产线，全面参与国产芯片制造的核心环节，有力提升我国芯片产业链供应链韧性和安全水平。

首个百台交付，不仅是国产离子注入装备制造的重要里程碑，更为我国集成电路产业自主创新发展注入了强大动能。未来，48所将继续扎根集成电路领域，进一步补链强链，强化重点技术攻关，深耕细分领域，在高端装备的设计开发及自主创新上持续发力，为集成电路产业发展贡献更大力量。

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