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ASML将于年底推出新一代2nm EUV光刻机

2023-7-6 15:34| 发布者: cncelab| 查看: 1408| 评论: 0

摘要: 目前ASML出货的最新光刻机为NXE:3600D,而下半年将要出货的是NXE:3800E光刻机,与目前的光刻机相比,NXE:3800E光刻机的曝光能力达到了30mJ/cm2,这个性能水平相当于每小时能够制造195片晶圆。
【消费电子实验室-2023/7/6】近日,有消息称ASML计划在年底出货最新一代的光刻机,产能大幅提升,可以为今后的2nm工艺制程做准备。

目前ASML出货的最新光刻机为NXE:3600D,而下半年将要出货的是NXE:3800E光刻机,与目前的光刻机相比,NXE:3800E光刻机的曝光能力达到了30mJ/cm2,这个性能水平相当于每小时能够制造195片晶圆,经过优化后产能可以达到220片晶圆,与目前的光刻机相比提升了30%,很显然产能的提升也将减缓现在高端芯片产能供应不足的局面。

包括三星、英特尔以及台积电都将选用ASML的最新一代的光刻机,如果下半年顺利交付的话,加上调试、安装等时间,预计三星可以在明年将这款光刻机用于2nm制程晶圆的生产之中。

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